нутри самой современной EUV-машины каждую секунду 50 000 капель расплавленного олова падают через камеру в её основании. Пара высокоэнергетических лазеров на углекислом газе ударяет по каждой капле, создавая плазму, которая, в свою очередь, испускает свет нужной длины волны. Первый импульс преобразует каплю олова в туманную форму блина, так что второй импульс, который является более мощным и следует за ним всего через 3 микросекунды, взрывает олово в плазму, которая светится на длине волны 13,5 нанометров, как показано на видео.


Затем свет собирается, фокусируется и отражается от узорчатой маски, чтобы проецировать узор на кремниевую пластину.

Свет направляют зеркала, сделанные из слоёв кремния и молибдена, которые отшлифованы настолько точно, что, если их масштабировать до размера Германии, то на поверхности не будет выпуклостей больше миллиметра. Поскольку глубокий ультрафиолет поглощается почти любым веществом, включая воздух, процесс происходит в вакууме.

ASML не хотелось бы отказываться от доступа к китайскому рынку, потому что в долгосрочной перспективе это может поставить под угрозу доминирование компании в своём секторе. Но Китай нуждается в ASML ещё больше, чем она в нём. Из всего оборудования, необходимого для передовой фабрики по производству микроэлектроники, которую хотят построить власти, «технология ASML является самой трудной для воспроизведения», говорит Пьер Феррагу (Pierre Ferragu), технологический аналитик New Street Research. Другой аналитик Малкольм Пенн (Malcolm Penn) из Future Horizons считает, что китайскому конкуренту потребуется десятилетие или больше, чтобы воспроизвести фотолитографию в глубоком ультрафиолете, а к тому времени технологический фронтир снова двинется вперёд.