У нас дорожная карта до 2024 года по развитию полупроводниковой промышленности, где вроде 7нм должны к 2024 году достичь и все это за 800 с чем-то миллиардов)
ну и на худой конец есть финт как делать те же 7нм без экстремального ультрафиолета, путем множественной засветки. Да будет большой процент брака и дороже, но при желании можно и даже делают некоторые
ну и на худой конец есть финт как делать те же 7нм без экстремального ультрафиолета, путем множественной засветки. Да будет большой процент брака и дороже, но при желании можно и даже делают некоторые
В частности одна контора с синим лого к такому прибегает