у меня programdata\microsoft\diagnostics например занимает 66 мегабайт целиком, при этом ETLLogs вообще пустая
Возможно это результат удачного/неудачного апдейта системы. Под рукой нет win10, думаю, если открыть тот файл обычным редактором - то можно понять, что и откуда растёт