Буду знать, что идентичные, спасибо. Как по-мне Mathf.Epsilon более читабельнее, но это наверное дело вкуса.
если заглянуть в кишки юнити, то можно увидеть, что там берется значение из float.Epsilon, единственное НО, если float.Epsilon == 0.0, то берется 1.175494E-38f, когда у float.Epsilon - 1.401298E-45